北方华创 Al Pad PVD荣获首届集成电路产业联盟创新奖

首届“集成电路产业链协同创新发展成果交流会暨2018年集成电路产业技术创新战略联盟大会”于3月1日在北京召开,会议由集成电路产业技术创新战略联盟组织,会议进行了集成电路产业发展战略,以及集成电路产业链协同创新发展成果交流。北方华创“12英寸铝溅射设备”荣获“技术创新奖”。

12英寸铝溅射设备(Al Pad PVD)设备是由北方华创自主开发的集成电路领域的高端PVD设备,适用于90至14纳米技术节点的Bond Pad和Al Interconnect工艺。该设备突破了大产能传输平台、高温静电卡盘、先进磁控溅射源等一系列关键技术,解决了厚铝粘片、晶须缺陷等世界性技术难题,填补了国内技术空白,技术指标达到国际先进水平。产品已经广泛应用于逻辑、存储和显示等领域。

北方华创是国内唯一的集成电路高端PVD制造厂商,产品已经进入中芯国际、武汉新芯、上海华力等集成电路生产线,部分型号产品实现出口。

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