北方华创PVD设备客户端快速装机

日前,北方华创微电子氮化钛硬掩膜(HardMaskTiN PVD)设备在国内领军集成电路芯片制造企业生产线上完成14天快速装机。

2017年以来,中国集成电路产业持续高速增长,制造产能严重不足的问题越来越严重的困扰着领军集成电路代工厂。北方华创深谙客户需求,以关键设备HardMask TiN PVD的14天快速安装,给客户争取宝贵生产调试时间。设备安装期间,客服中心协调资源,安排工程师24小时不间断工作,突破了国际厂商同类设备22天的平均装机时间,创造了该设备最快速装机的世界纪录。为此,客户特别授予北方华创HardMask TiN 客户团队杰出贡献奖。这是客户对北方华创产品和服务的充分肯定,也是北方华创以客户为中心价值理念的践行成果。

exiTin H430 氮化钛硬掩膜PVD系统,是北方华创自主开发的面向28-14nm大马士革工艺中硬掩膜层沉积工艺所使用的物理气相沉积设备。设备凭借其优异的工艺性能、量产能力和极具竞争力的CoO,被大陆领军集成电路芯片制造企业指定为28nm制程Baseline机台,并荣获北京市科学技术三等奖、第十届中国半导体创新产品和技术项目奖等多项荣誉。目前该产品已进入国际供应链体系,推动了国产高端装备的市场化进程。

PVD设备客户端14天快速装机,体现的是北方华创坚持客户利益至上,以为客户创造价值为己任的服务理念;14天快速装机,展示的是北方华创客服工程师兢兢业业,不辞辛苦,高效过硬的技术实力;14天快速装机,呈现的是北方华创客服团队与客户心心相系,密切配合,共迎挑战的协作精神。

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